朗讀中國光刻機晚事：研發比ASML早20年，卻落後這麼久呢？_年代_技術_芯片第中國光刻機晚事：研發比ASML早20年，卻落後這麼久呢？_年代_技術

如今的光刻機市場，已經是ASML的天下了，ASML一家拿下了全球80%以上的市場，特別是在EUV這種高端市場，ASML拿下100%的份額，其它任何光刻機廠商，都生產不了EUV光刻機。 
與之對比的是，中國企業目前生產的光刻機，還是90nm，屬於ArF類型，中間還差了ArFi(浸潤式)這麼一大代，至於小的技術演進，則不知道有多少代。 
從ArF到EUV光刻機，中間需要多少年，誰也不清楚，也許幾年，也許幾十年，因為技術的突破，有時候很快就突破了，也有可能永遠也突破不了。 
很多人可能覺得奇怪，ASML是1984年才成立的，當時還只是飛利浦的一個小部門而已，而中國早在20世紀60年代，就研發光刻機了，在1965年的時候，中國科學院就有了65型接觸式光刻機。 
這樣說起來，中國研發光刻機比ASML起碼早了20年，最後ASML卻火成這樣，中國光刻機卻落後這麼多呢？
其實這背後有很多細節，是值得我們回味和反思的。 
一是中美在在1971年建交，為了體現“誠意”，美國說很多東西，你們不必要研發了，找我們買就是了，沒必要浪費錢去研發，還不一定研發的出來。 
於是在70末、80年代，很多大的研發項目就停了，從國外買或租，因為這樣確實成本低一些，畢竟那時候大家看的也沒這麼長遠，光刻機項目那時候其實也差不多是停了，這一停差不多就是20來年，直到21世紀才算是再次重啟研發。 
而ASML呢？自成立之後，就一直很努力，尋找各種機會，1986年推出了第二代產品PAS-2500。 
後來在90年代末，更是豪賭台積電林本堅提出的浸潤式光刻機方案，一下子就成功了，而不願意賭浸潤式光刻機的尼康、佳能落後了，ASML一舉成為霸主。 
後來intel、ASML等幾家公司一起研發了EUV，大家看到EUV技術難度大，成本高，不想搞了， 只有ASML決定再賭一把，篤定要做EUV。 
研發EUV要錢，ASML沒有，怎麼辦呢？於是ASML還說服了英特爾、三星、台積電這三家芯片廠一起入股自己，獲得了三家廠商約55億歐元的資金，來研發EUV光刻機。 
不曾想ASML又研發成功了，EUV光刻機研發出來後，ASML將蔡司等核心夥伴都捆綁在了自己的戰車上，形成利益共同體，導致其它光刻機廠商，很難研發不出EUV光刻機了。 
由此可見，中國起步雖然比ASML早20年，但中間其實又耽擱了20來年，再加上各種原因，比如後來美國的打壓限制，以及機遇，ASML設的坎等等，最終造成了當前這種現象。 
但不管怎麼樣，研發光刻機，我們沒有退路，再難也得研發出來，否則就會一直被人卡住脖子，先進工藝的芯片就會受限，這是我們不能接受的。

《中國光刻機晚事：研發比ASML早20年，卻落後這麼久呢？_年代_技術_芯片》完，請繼續朗讀精采文章。
喜歡 科學報 cn-n.net，請記得按讚、收藏及分享。