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中國光刻機晚事:研發比ASML早20年,卻落後這麼久呢?_年代_技術_芯片


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更新日期:2024713
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如今的光刻機市場,已經是ASML的天下了,ASML一家拿下了全球80%以上的市場,特別是在EUV這種高端市場,ASML拿下100%的份額,其它任何光刻機廠商,都生產不了EUV光刻機。

與之對比的是,中國企業目前生產的光刻機,還是90nm,屬於ArF類型,中間還差了ArFi(浸潤式)這麼一大代,至於小的技術演進,則不知道有多少代。

從ArF到EUV光刻機,中間需要多少年,誰也不清楚,也許幾年,也許幾十年,因為技術的突破,有時候很快就突破了,也有可能永遠也突破不了。

很多人可能覺得奇怪,ASML是1984年才成立的,當時還只是飛利浦的一個小部門而已,而中國早在20世紀60年代,就研發光刻機了,在1965年的時候,中國科學院就有了65型接觸式光刻機。

這樣說起來,中國研發光刻機比ASML起碼早了20年,最後ASML卻火成這樣,中國光刻機卻落後這麼多呢?

其實這背後有很多細節,是值得我們回味和反思的。

一是中美在在1971年建交,為了體現“誠意”,美國說很多東西,你們不必要研發了,找我們買就是了,沒必要浪費錢去研發,還不一定研發的出來。

於是在70末、80年代,很多大的研發項目就停了,從國外買或租,因為這樣確實成本低一些,畢竟那時候大家看的也沒這麼長遠,光刻機項目那時候其實也差不多是停了,這一停差不多就是20來年,直到21世紀才算是再次重啟研發。

而ASML呢?自成立之後,就一直很努力,尋找各種機會,1986年推出了第二代產品PAS-2500。

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後來在90年代末,更是豪賭台積電林本堅提出的浸潤式光刻機方案,一下子就成功了,而不願意賭浸潤式光刻機的尼康、佳能落後了,ASML一舉成為霸主。

後來intel、ASML等幾家公司一起研發了EUV,大家看到EUV技術難度大,成本高,不想搞了, 只有ASML決定再賭一把,篤定要做EUV。

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研發EUV要錢,ASML沒有,怎麼辦呢?於是ASML還說服了英特爾、三星、台積電這三家芯片廠一起入股自己,獲得了三家廠商約55億歐元的資金,來研發EUV光刻機。

不曾想ASML又研發成功了,EUV光刻機研發出來後,ASML將蔡司等核心夥伴都捆綁在了自己的戰車上,形成利益共同體,導致其它光刻機廠商,很難研發不出EUV光刻機了。

由此可見,中國起步雖然比ASML早20年,但中間其實又耽擱了20來年,再加上各種原因,比如後來美國的打壓限制,以及機遇,ASML設的坎等等,最終造成了當前這種現象。

但不管怎麼樣,研發光刻機,我們沒有退路,再難也得研發出來,否則就會一直被人卡住脖子,先進工藝的芯片就會受限,這是我們不能接受的。

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